SI-GmbH
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  - Universelle Gasanalysatoren  
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Die Gasanalysatoren der UGA-Serie arbeiten von oberhalb Atmosphärendruck bis hinunter in den UHV-Bereich. Die Nutzbarkeit der Systeme erstreckt sich von der Online-Überwachung bis zur Analyse von Gasgemischen. Einsatzbereiche sind das große Feld der Halbleiter-, Brennstoffzellen-, Umwelt-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen. Ob Sie Spuren von Fremdstoffen, Lösemitteln, Kohlen-wasserstoffen, Kühlmitteln oder korrosiven Gasen suchen, das UGA ist das richtige Gerät.

Das UGA enthält eine 2stufige Druckreduktionsstufe zur Abnahme von Proben bei Atmosphärendruck. Nach der Druckreduktion wird der Gasstrom über ein Massen-spektrometer (Restgasanalysator) geführt. Dieses misst die Konzentrationen der interessierenden Massen. Das System besteht aus 2 Pumpen, Ionisator mit Quadrupol-filter und Detektor, Elektronikeinheit und Echtzeit-Software auf Windowsbasis.

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Die Highlights

Konzentrationsgrenze <1 ppm

enthält Faraday- und CEM-Detektor

Hochvakuum- und Diaphragma-Pumpe eingebaut
Die wichtigsten Spezifikationen:
Werte:
Messbereiche:
bis 100, 200 oder 300 amu bei <1 amu Auflösung
Modelle:
UGA-Hyd für H2 und korrosive Gase oder ULT für Kohlenwasserstoffe und Luft
Druckbereich/Detektionsgrenze:
760 Torr (Atmosphäre) ... 5x 10exp(-14) Torr (Detektionsgrenze)