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Highlights
- 100, 200 und 300 amu-Systeme
- Rückmeldezeit <1,5 s
- Mehrpunktanalyse
- Mehrbereichsanalyse
- Sehr geringes Totvolumen
- System Bakeout
- Heizleitung für Proben
Produktbeschreibung & Vorteile von UGAPM100, UGAPM200 & UGAPM300
High-End-Lösung mit hoher Auflösung
Die Prozessüberwachungsserie UGAPM wurde entwickelt, um Prozessgase zu analysieren. Die arbeiten im Bereich von 20 Torr bis 1 mTorr. Dabei misst der Einlass kontinuierlich Gasproben bei geringer Durchflussrate (ca. 5*10-5 mbar L/s). Somit ist das Gerät ideal für In-Line-Analysen.
Bitte fordern Sie weitere Informationen und Beratung über das Kontaktformular unten an.
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