XY200M

XY-Piezokreuztisch mit 200 µm Auslenkung

Highlights

Produktbeschreibung & Vorteile

Kompakt und präzise

Der piezoelektrische Kreuztisch XY200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Seine Anwendungen umfassen z. B. Maskenpositionierung, Atomkraft- und Rastertunnelmikroskope. Basierend auf dem APA®-Konzept entwickelte CEDRAT TECHNOLOGIES verschiedene Mechanismen, um die Nachfrage seiner Kunden nach mehreren Freiheitsgraden in der Kinematik zu erfüllen. Diese Mechanismen profitieren vom APA®-Konzept, das seinen Anwendern eine verlässliche, robuste, präzise und kompakte Lösung bietet. Diese Standardmechanismen sind aktuell erhältlich, um verschiedenste Anforderungen bezüglich Kinematik und Kraft zu erfüllen.
  • X-Piezotische: Einachsige Piezotische profitieren von Charakteristiken und Biegeführung der APA®-Aktoren und bieten somit exzellente Kompaktheit, Robustheit, Bandbreite und Auflösung.
  • XY-Piezotische: Zweiachsentische können mit Dehnungsmessstreifen ausgestattet und somit für präzise Positionierung in Regelungen integriert werden.
  • XYZ-Piezotische: Zweiachsentische können mit einer dritten Bewegungsachse erweitert werden, um somit drei Freiheitsgrade zu erreichen

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