UGAPM100, UGAPM200 & UGAPM300

Highlights

Produktbeschreibung & Vorteile

High-End-Lösung mit hoher Auflösung

Die Prozessüberwachungsserie UGAPM wurde entwickelt, um Prozessgase zu analysieren. Die arbeiten im Bereich von 20 Torr bis 1 mTorr. Dabei misst der Einlass kontinuierlich Gasproben bei geringer Durchflussrate (ca. 5*10-5 mbar L/s). Somit ist das Gerät ideal für In-Line-Analysen.

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