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Highlights
- 100, 200 und 300 amu-Systeme
- 1 ppm Detektionsgrenze
- 10 mTorr maximale Betriebsdruck
- 1*10-12 Torr Detektionsgrenze
- RGA-Windows-Software
- Mehrkopfbetrieb möglich
- RGA- und CIS-Modus
Produktbeschreibung & Vorteile von CIS100, CIS200 & CIS300
Hochgenau und verlässlich
Mit der Detektionsgrenze <1 ppm, Direktsampling bei mTorr-Druck und benutzerfreundlichem Windows-Softwarepaket, erfüllen die CIS-Systeme anspruchsvollste Aufgaben. In-Line-Prozessüberwachung und -regelung, Verifizierung von Prozessgasreinheit direkt an der Stelle der Verwendung, Restgasanalyse im Hochvakuum und Lecküberwachung der Prozesskomponenten sind nur einige der Anwendungen bei denen dieses System unverzichtbar ist.
Bitte fordern Sie weitere Informationen und Beratung über das Kontaktformular unten an.
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